压觉传感器实际是接触传感器的引伸。目前,压觉传感器主要有如下几类:
1.利用某些材料的内阻随压力变化而变化的压阻效应,制成压阻器件,将它们密集配置成阵列,即可检测压力的分布。如压敏导电橡胶或塑料等。
2.利用压电效应器件.如压电晶体等,将它们制成类似人的皮肤的压电薄膜,感知外界压力。它的优点是耐腐蚀、频带宽和灵敏度高等;但缺点是无直流响应,不能直接检测静态信号。
3.利用半导体力敏器件与信号电路构成集成压敏传感器。常用的有三种:压电型(如
ZnO/Si-IC)、电阻型SIR(硅集成)和电容型SIC。其优点是体积小、成本低、便于同计算机接口,缺点是耐压负载差、不柔软。
4.利用压磁传感器、扫描电路与针式差动变压器式接触觉传感器构成压觉传感器。压磁器件有较强的过载能力,但体积较大。
如图上图是用半导体技术制成的高密度智能压觉传感器,它是一种很有发展前途的压觉传感器。其中压阻式和电容式使用最多。虽然,压阻式器件比电容式器件的线性好,封装简单,但是压阻器件的压力灵敏度要比电容器件小一个数量级,温度灵敏度比电容器件大一个数量级。因此,电容式压觉传感器,特别是硅电容压觉传感器得到广泛应用。