MEMS技术是在现代微电子技术基础上发展起来的一门新兴科学技术，它融合了微电子与精密机械制作技术，是将微传感器、微执行器以及微信号处理与控制电路、通信、电源集成于一体的微型机电系统。采用MEMS技术的地震传感器有着传统地震传感器不可比拟的优势。如：检测灵敏度高、精度高、响应范围大，检测快速等。

在电梯行业中，电梯地震传感器是一个小众产品，但又是一个关键部件。美、日、欧盟等国外发达国家制定的标准中都对电梯地震传感器有着相应的要求。

地震传感器一般分为两类，一类是传统的机械式传感器，一类是电子式传感器，多为采用MEMS加速度传感器。前期多采用机械式传感器，技术相对成熟，虽然电子式传感器有着许多先天的优势，更新换代需要一个相当长的时间。美国和欧洲的一般采用电子式的地震传感器。

目前，电子式地震传感器一般采用MEMS技术的低噪声、高灵敏度三轴加速度传感器，来采集地震加速度，输出相应的电信号，通过低通滤波滤除高频干扰，然后经由高精度模数转换器送给微处理器，微处理器对数据进行分析，判断地震事件是否发生，如有地震事件则进行相应的触点输出，并记录地震发生信息。

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